郑州某光电器件集成块操作生产厂家，晶圆操作进程中带来含硅、氟的特异废渣，定制操作面积1200吨/日。废渣含量繁复，所含纳米技术级硅颗粒状及氢佛酸，傳統操作措施不易不合格。 污废水 物质及来历 主耍污染源物 ：固体硅（100-500nm比表面积）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 特征生产工艺 ：晶圆刻蚀废气（45%）、CMP无机化学厂家增加光泽废气（40%）、专用设备情况呢水（15%） 治理加工过程注意事项 改革创新适用"检查是否滤渣+防化膜提取"水平路线规划： 钙盐积淀 ：加药系统氯化钙清掉氟化合物（转化成CaF2滤渣） 水解酸化池想法 ：塑料斜板沉淀池剂做到橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜挪作他用微细科粒 反参透系统的 ：脱盐率>98%，回收并率75% 蒸馏凝结 ：浓水段体现氟化物零释放 不可能的效果 氟化物溶度：<8mg/L（少于地区七级标准10mg/L） 硅分子量：<5mg/L 水产品工业废水处理率：70%适用于水密闭式冷却塔保湿 危废处理减量化：蒸发掉残余物量较传统意义技术减小60%