某半导体器件研制中小型企业因晶圆洁净生产工艺带来含氨废水处置，发电量200吨/天。废水处置中除氯离子外还带有氟化物和轻微天价属，处置等级大。立即废气基准需求氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水化学物质及源 晶圆洗废水处理方法（注意來源）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀步骤废气：含轻微铜、镍等天价属，pH值振幅大 CMP精磨废水处理工艺：含硅粉末及挥发酚 办理艺具体步骤 通过"物理沉淀物+膜脱离+折点氯化"三人组合流程： 预加工处理 ：污泥脱水CaCl2除氟，抑制pH在7.5-8. 超滤膜平台 ：洗去0.01μm以内科粒物 反渗透装置性和沉淀 ：将挥发酚果汁至1000mg/L及以上 折点氯化 ：精确度高设定氯加药系统量，将高锰酸盐指数生成为N2 铝离子变换 ：保障机制血本属合格 以后作用 氧化还原电位保持稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属的含量降至的检测限 水循环率达75% 活性污泥生成量减掉40%