工程项目背静
重庆某半导体设备厂生孩子的过程中同時产生高硅废渣(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废渣(F⁻ 200-300mg/L)。五种废渣混时易产生氟硅酸悬浊液,中国传统学沉定法难易稳定的合格。项目流程需要同时清掉硅和氟(排放物规范标准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
工业废水成份及原因
主要成分表
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
来历
:晶圆刻蚀生产生产废水、CMP碾磨生产生产废水、机械清洗水
处里工艺技术工作流程
协同工作沉淀物时段.
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两极体现池
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第一个级污泥脱水Ca(OH)₂产生CaF₂和CaSiO₃滤渣;
二是级加药系统PAC(汇聚氯化铝)进行强化二沉池。
固液提取时段.
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反渗透装置设计
:选取0.02μm孔直径膜部件虚报冒领氢氧化铁硅和微细沉淀出的物。
广度脱氟周期
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可溶性硫化铝物理吸附塔
:多余氟铁离子吸收取除。
最后治疗效果
溢水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远强于國家规格。
反渗透装置系统软件通量稳固在15LMH,催化擦拭时间延后至60天。
活性污泥经压滤后含水量率<65%,可按普遍固废处理应对。