工程建设概述
某8屏幕尺寸晶圆厂刻蚀制作工艺呈现含氟污废水 (最主要部分为HF、NH4F),设计构思进行处理大小200m³/d,追求做到水收集率≥90%,氟化物收集用率>80%。
水污染特殊性
氟化物盐浓度梯度方向大(50-5000mg/L)
含硅粒子及不锈钢铝离子(Al³⁺、Cu²⁺)
挥发酚硫含量高(300-800mg/L)
技术步骤流程突出点
级别划分收藏系统软件
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高含量工业废水(>1000mg/L)一个人进晶体再利用操作系统
低溶度废水处里方法流入日常处里线
层面清理单元测试卷
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旋流发生物反应器高速 沉淀物氟化钙
多效汽化器浓缩提炼氟化铵盐溶液
冰冻晶体化学合成高纯氟化铵物料
回收操作系统
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反融于膜+反融于双膜法产水工业废水处理
浓水适用于加工区抑尘
经济社会能力标准
氟化物综上回收分类处理率82%
吨水治疗制造费降低了至18.7元
年收旧氟化铵类产品350吨
净水工业废水处理率92.3%
氟化工品焦化废水除理首要技术性个人总结
无机化学沉垫法
优化方案要素:
钙盐污泥脱水量需操作Ca²⁺:F⁻=1.05-1.1(摩尔比)
症状pH值准确调整在10.5-11.5范围内
强度治理 工艺
比选:
活性氧钝化铝:适宜于<20mg/L的淬硬层外理
反融入:满足低有机废气浓度含氟污废水
电激发:治理高强度生物碳氟电镀废水
資源化方法
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氟化钙沉淀自己要加工人品造萤石
氟化铵氢氧化钠溶液分离纯化后造纸废水处理于生產
回收处理氟产品设备国家经济价值观电动车续航3000-5000/吨
注:其实建设项目中需随着水硬度性状开始小试确认合适工艺流程性能指标,建议大家首先确定分质除理与不断循环合理利用细则。