该晶圆制作业厂处在华中地域,一般生孩子8寸大半导体行业晶圆,日访问量污水排污口量约800吨。在生孩子阶段中应用巨大氢佛酸来进行晶圆蚀刻,造成 污水面氟化物密度独角兽高达200-300mg/L,远超部委排污口标(10mg/L以上)。
焦化废水材质及來源
废渣注意来源几个方式:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高溶度氟化物(HF)、硝酸钠及少量的天价属
物理自动化抛光技术剂(CMP)工业废水
:含奈米级硅顆粒、充分络合剂
仪器清晰废渣
:含异丙醇、化学需氧量等有机质物
工作鑫霖环保步骤流程
适用"化学物质石雕文化沉垫+沥青混凝土石雕文化沉垫+深浅油烟净化器"三类补救体统:
七级治疗
:加药系统氯化钙和氢阳极氧化钙,达成氟化钙放置,氟化物除去率达85%
二级考试正确处理
:“添加PAC(整合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),的还原橡胶胶体部分态感染物
一级除理
:依据多有机溶剂滤过器和化学活化炭降解,满水后氟化物渗透压稳定的在8mg/L之下
重要产品还包括:pH重新调结控制系统、斜管沉淀自己池、板框过滤机(活性污泥过滤)。
终结使用效果
好项目运动一年的数据监测的数据屏幕上显示:
氟化物月均溶液浓度:7.2mg/L(不高于地方基准)
COD快速清理率:92%
活性污泥含水量率:≤65%
年收购氟化钙副新产品约150吨,体现自然资源化再生利用率