半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工程游戏背景
该财产园众多了十余家半导体芯片对应厂家,设计的日除理力量5000吨,必须要除理出自不一样的厂家的混废气补救。考虑到各厂家生产制造鑫霖环保文化差异大,废气补救组分有难易变化多端,除理难易较高。
生产废水化学成分及来源地
污水首要比如3个类:高密度物质物污水(光刻胶、定影液等)、含氟污水(刻蚀工艺流程)和腐蚀性污水(擦拭工艺流程)。异常组分比如异丙醇、四甲基氢空气氧化铵等难分解物质物物,甚至氟化物、高锰酸盐指数等高分子感染物。污水COD动荡大(500-3000mg/L),氟化物密度100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
外理工艺流量流量
选用"类别持续+分质整理+集中在深度1整理"的改革创新模式切换:
商家里面区分预进行治理:含氟废液重新治理并预进行治理
产业园区官网中分级输料设备
结合调整池义均土质
有级水泥混凝土沉淀自己剔除飘浮物和固体
高生物学表现器(HBR)正确处理有机肥料的污染
嗅氧促使被氧化挥发难分析有机质物
反浸入机系统采取脱盐工作
分光光度计线清洗有效确保出液人身安全
越来越设立了在线播放评估设计和自功投药设计,需要对土质波动性。
终究视觉效果
操作系统运作3年来,处理治疗效果稳定的信得过。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,高锰酸盐指数<5mg/L,总氮<15mg/L,超地下水Ⅳ类标准化,局部循环于工业区公路绿化及降温塔保湿补水,循环率超30%。历年可以减少丰富水实用约五十万吨,为工业区工厂增加有水费数千万元左右。