半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
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该制造业公司的企业为世界上更优的半导体设备首测制造业公司的企业,设在珠三边形区县,一般来高档次集成电路芯片的划区和封裝试验。是因为偏远地区的环保请求要从严,制造业公司的企业定施实废水清理工艺零尾气排放标准工作。内容于202两年通电,202两年6月竣工开工,清理规模化为200吨/日,总投资者约2000万块。
废污水物质及来历
本次目地小学划片污废水 拥有下述优势特点:
高浓硫酸溶度氟化物,主要是出自晶圆分割后的除垢步骤,氟阴离子浓硫酸溶度高达独角兽150-200mg/L
含有奈米级硅粉颗料,粒度分布多在100-500nm之前
无机短路电流较高,COD在500-800mg/L
含进样器高价属如铅、镉等
纯水电导率高,常见在2000-3000μS/cm
正确处理生产工艺工作流程
为实现对象零的排放对象,生产工艺技术构思关键要考虑到焦化废水分类别采集而来和成本回收处理:
焦化废水区分处理系统的
:将含氟化工生产废水与别的化工生产废水分不开回收利用
化学上的水解除氟
:选取两极钙盐石雕文化滤渣法,加上效率高石雕文化滤渣池
高級氧化的清理
:臭氧杀菌离子液体防氧化化学降解难处里充分物
膜浸提体系
:主要包括DTRO碟管式反渗透设备性,萃取陪数为10倍
汽化成果
:MVR机蒸汽加热再减小挥发器正确处理浓水
非常干燥软件系统
:将成果盐潮湿后充当工业品副货品外售
办理功效
体统运营数据信息展示:
氟化物清掉率>99.9%,水流氟正离子<1mg/L
COD总除去率>98%,留水COD<20mg/L
水资原收售率>95%,仅造成一少部分心得盐
第一年可出售高品性造纸废水处理水约6万吨
成果盐色度可达鑫霖环保级基准,控制网络污泥处置巧用
投资项目不仅能进行了废水处理方法零直接排放,还按照資源环保再生再生资源开创了约80万余元/年的特别效率。