大型项目原型
某新型半导体净化处理芯片制造技术的企业公司为于长角形地段,一般工作晶圆和净化处理芯片。在工作的过程 中,晶圆分割和打磨阶段性带来不少碾磨液电镀废水,日访问量尾气废气排放标准量约50吨。因电镀废水底含母液值漂浮物、材料正离子及设计加入剂,会直接尾气废气排放标准会对坏境形成非常严重的污染,的企业公司急要设计靠谱净化处理建筑设施。
污废水 有效成分及的来源
考虑液焦化废水重点来原于晶圆代加工中的电学自动化机械拋光(CMP)生产工艺,重点污染源物包含:
透明桌面粒状物
:二脱色硅、脱色铝等粉磨粒子,颗粒直径在0.1-1μm,溶液浓度高达hg2000mg/L。
铝合金阴离子
:铜、铁、锌等,位于拋光垫变形及晶圆表层合金金属层,铜铝离子氨水浓度约50mg/L。
有机肥料增添剂
:是指外壁特异性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸酸性性物
:pH值起伏大,大多数在2-11中。
处理加工方案
对于废水办理性,用到“预办理+血生化+深入办理”组合公式加工:
缓解池
:教育均衡发展污水水质水流量,加入强酸强碱调控pH至碱式盐。
沥青混凝土悠长岁月中
:污泥脱水PAC(缔合氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),剔除浮窗物和溶液,沉降后SS剔除率>90%。
崔化防氧化
:用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)可降解有机的增添剂,COD剔除率达60%。
生物工程工作
:MBR膜生物学反映器深入骤挥发剩下巧妙物,COD降为100mg/L之下。
亚铁离子交易
:专业级硅胶粘合剂物理吸附铜阴阳离子,出水量铜含氧量<0.5mg/L。
砂滤+化学活化炭筛选
:狠抓出水出水使水变,高达《水量全方位的进行排放规范的》(GB8978-1996)五级标准化的。
从而特效
整体启用安稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。
循环率达40%,其他达到标准废气排放标准,年减低化工废水废气排放标准1.5万吨。
进行处理资金约15元/吨,远压低业大概。